Первым русским этимологическим словарем был «Корнеслов русского языка, сравненного со всеми главнейшими славянскими наречиями и с двадцатью четырьмя иностранными языками» Ф.С. Шимкевича (1842). В словаре разработано 1378 корней обиходных русских слов, во многих случаях имеются произвольные сопоставления и ошибочные утверждения. Следующим в хронологическом порядке был «Опыт словаря русского языка сравнительно с языками индоевропейскими» М. Изюмова (1880), стоявший также на невысоком теоретическом уровне. Выше по качеству, хотя и несвободным от неверных объяснений, был «Сравнительный этимологический словарь русского языка» Н.В. Горяева (1892). Наиболее известен из дореволюционных изданий «Этимологический словарь русского языка» А.Г. Преображенского (1910-1916; окончание было опубликовано в 1949 г., позднее осуществлено переиздание всей книги). Словарь содержит объяснение этимологии многих общеупотребительных русских слов и части заимствованных. Как те, так и другие группируются по первообразным словам или по корням. Хотя словарь далеко не полон и содержит немало устаревших или просто неверных объяснений, он служит важным пособием по этимологии.
В 1961 г. вышел «Краткий этимологический словарь русского языка» Н.М. Шанского, В.В. Иванова и Т.В. Шанской под редакцией С.Г. Бархударова. Словарь, изданный как научно-популярное пособие для учителя средней школы, содержит этимологическое толкование общеупотребительных слов современного русского литературного языка (3-е изд. М., 1975).